Silicon Micromachining
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Silicon Micromachining
This Comprehensive Book Provides An Overview Of The Key Techniques In The Fabrication Of Micron-scale Structures In Silicon. It Is A Blend Of Detailed Experimental And Theoretical Material, And Will Be Of Great Interest To Graduate Students And Researchers In Electrical Engineering And Materials Science Whose Work Involves The Study Of Micro-electromechanical Systems (mems).
- 브랜드: Cambridge University Press
- 카테고리: Computing & Internet
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출판사/레이블: Cambridge University Press
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페이지 수: 420
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형식: Paperback
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언어: English
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출판일: 2004-05-22
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저자: Miko Elwenspoek
- Fruugo ID: 556917054-1125150693
- ISBN: 9780521607674
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